亞微米級的精密加工技術

實現了硬盤驅動器用馬達的全球市場占有率極高的精密加工技術

是支撐日本電產集團的制造事業的骨干技術。

日本電產集團生產制造馬達、傳感器、風扇、鼓風機、泵等各類產品，對高精度有特別要求的產品是硬盤驅動用馬達及其相關零件。其中，用于液壓軸承的零件從要求為微米級的精度到要求為亞微米級的精度，歷經長年構筑起高超加工技術的日本電產在生產線使用的也是獨自研發的制造設備和檢查裝置。

例如，DVD和BD（藍光光盤）其各自的規格已經有嚴格的規定，只要是符合其規格，即可成為產品，并不需要具備一定規格以上的性能。但是，硬盤驅動器與DVD和BD不同，為了追求大容量、高速刻錄/讀取而在不斷地進化。自1956年硬盤驅動器問世以來已過去了半個多世紀，這種大容量、高速刻錄/讀取的趨勢并沒有半刻停歇，至今仍在向前發展。

作為實現大容量、高速刻錄/讀取的技術，磁頭和磁力記錄方式的革新備受矚目，實際上構成硬盤驅動器的機械裝置也對硬盤驅動器的進化做出了巨大貢獻。液壓軸承便是其中之一。由于磁頭和磁力記錄方式的革新，實現了在細微領域的高速記錄，滾軸軸承發生的振動成為阻礙刻錄/讀取的要因而受到了重視，這也成為液壓軸承問世的一個契機。

隨著硬盤驅動器向大容量、高速刻錄/讀取的方向發展，市場對此類產品的精密加工技術提出了更高要求，因此，作為代替滾珠軸承的新一代產品——液壓軸承問世了。

刻在軸承上的人字形溝槽所引起的、通過油的動壓支撐軸承的液壓軸承的原理本身雖然很簡單，但是要實現這個簡單的原理需要非常高超的加工技術。例如，軸的直徑精度的公差為±1.5μm，在生產車間內部對軸直徑的管理要控制在±0.5μm的范圍內。軸和軸承的間隙為1μm，表面的粗糙度因機種而異，在**嚴格的情形下，直徑要求達到0.02μm。雖然軸承需要形成產生油動壓的人形溝槽，可是形成此溝槽的電解加工機是日本電產獨創的，加工時使用的電極也是內部生產的。

像這樣極高精度的產品在日本電產每月會生產數千萬臺，其背景就是日本電產所持有的極高精度的加工技術。

軸承的尺寸精確度、表面的粗糙度、溝槽的尺寸等全部按照微米級、亞微米級來進行管理

近年來，為了提升硬盤驅動器的性能，在硬盤驅動器內充入氦氣的新款產品面世了。這款產品也充分發揮了日本電產的技術。由于充氦硬盤驅動器的內部是完全密封的，因此要求消除氦氣以外的殘留氣體。另外，由于**新款產品的磁盤與磁頭的間隙為2nm以下，這就要求混合氣體必須降到**低。為了將殘留氣體和混合物減少至**低限度，在生產工序的所有環節都需要反復清洗和烘烤，以保持產品的潔凈。要選擇不會傷害到產品且無殘留的洗滌劑進行清洗，并配合純凈水一起清洗。烘烤時的溫度、加熱時間、烤爐內的配置等也融入了日本電產長期積累的經驗和訣竅?，F在，工廠內部保持著100級的無塵度，但作為生產工序的一部分是將無塵度升至10級，這個計劃也在順利推進等，隨著生產設備和生產條件的改變，也逐漸要求達到與半導體同等的水平。

為了實現充氦硬盤驅動器，需進行清洗和烘烤，將殘留氣體和混合物減小至**低限度。在部分制造工藝中，與半導體制造工廠同等的、將無塵度升至10級的計劃也正在推進中