YASKAWA/安川SEMISTAR-MR124搬運用機器人質量：66kg

簡介：適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版，引領業界的高性能！供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。半導體晶片搬運用機器人

　　特點

　　大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達4套應用設備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。

　　高速搬運：300枚/小時

　　適用：300mm-450mm晶片搬運

　　參數

　　機械臂

　　適用晶體尺寸：300mm(450m)*1

　　晶體把持方式：真空吸附夾具或邊緣夾具

　　標準邊緣效應器長*2：對應345mm＠300mm的晶體

　　驅動軸數：5軸

　　手臂類型：單臂

　　動作范圍

　　R軸伸縮*3：1215mm

　　θ軸回旋：330°

　　Z軸升降：480mm

　　B軸回轉：440°

　　最小回轉半徑*2：510mm

　　最快速度*2

　　伸縮：260°/s

　　回旋：330°/s

　　升降：550mm/s

　　B軸回轉：350°/s

　　線性：2000mm/s

　　重復定位精度*2：0.1mm(P-P)

　　質量：66kg

　　位置調整器

　　適用晶體尺寸：300mm

　　晶體把持方式：真空吸附夾具

　　檢出對象：凹槽

　　晶體材質：珪素*4

　　晶體邊緣檢出傳感器：LED + CCD線性傳感器

　　動作范圍：回旋：無限制

　　最快速度(加速/減速時間)：回旋：1000°/s(0.1s/0.1s)

　　LINEMENT精度：±0.03°

　　LINEMENT時間：1.7秒以下

　　質量：5.8kg

　　設置環境

　　潔凈等級*5：ISO等級1

　　使用溫度·濕度：20——30℃,35——55%RH(不結露)

　　保管溫度·濕度：0——40℃,35——80%RH(不結露)

　　標高：表高1000m以下

　　環境：無爆炸性，腐蝕性，可燃性氣體

　　MCBF：1500次循環以上

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