新松/SIASUN TTS-2000 EFEM潔凈機器人溫度：≤200℃

發布時間：2022-3-15 18:02:13|來源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

產地:
沈陽

價格:
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貨期:
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型號:
TTS-2000 EFEM

產品簡介
新松/SIASUN TTS-2000 EFEM 潔凈機器人，溫度：≤200℃，搬送精度（Alignment精度）：±0.1mm。

質量保證

貼心服務

安全交易

產品介紹說明

簡介：EFEM是一個晶圓前端傳輸設備，是一個與SEMI標準兼容的界面系統，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過雙軸復合運動實現取放片，極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構，保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設備的安全。

　　參數

　　材質尺寸：200mm/300mm wafer

　　Alignment Mark：Notch/ Flat

　　厚度：標準wafer

　　溫度：≤200℃

　　與傳送片接觸處的材質：陶瓷

　　片盒規格（類型、廠家、段數、段間距等）：Foup/Adaptor

　　AMHS（自動物料搬送系統）要求：OHT

　　搬送精度（Alignment精度）：±0.1mm

　　Particle Spec：ISO Class 1

　　Throughput：>100wfrs/h

　　Stage數（LP數）：2

　　Load Lock

　　Stage數（LL）：2

　　位置（XYZ）：兩個LL

　　Wafer放置精度　X-Y：±0.1mm

　　Wafer放置角度精度：/

　　Foot Print

　?。祝骸?100

　?。模骸?50

　?。龋骸?500

　　整機設計參照標準：SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

　　軟件界面設計參考標準：SEMI E30, E84

　　我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理，為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

　　本文介紹了新松/SIASUN TTS-2000 EFEM潔凈機器人溫度：≤200℃產品，如果您對新松/SIASUN機器人感興趣，也請聯系我們的客服，我們期待著您的來電，希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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