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新松/SIASUN IC STOCKER潔凈機器人 速度:120°/sec

發布時間:2022-3-17 15:18:14|來源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    產地:
    沈陽
    價格:
    請聯系客服
    貨期:
    請聯系客服
    型號:
    IC STOCKER
    產品簡介
    新松/SIASUN IC STOCKER潔凈機器人 速度:120°/sec,有效負載:10kg。
產品介紹說明
簡介:用于IC行業FOUP自動化搬送、存儲,實現晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。優化結構及氣流流場設計,可使潔凈度達到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,有效保護FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失;全新的系統運動邏輯規劃,提高產品搬送效率;標準的SEMI軟件接口,可以方便對接面板廠MCS系統,可實時上報系統各種狀態數據,實現工廠智能管理;可以根據客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。
新松/SIASUN  IC STOCKER潔凈機器人 速度:120°/sec
  參數

  設備:IC Stocker

  運動軸:行走 / 提升/ 旋轉/ 叉取

  有效負載:10kg

  控制:PLC+PC

  電源供應:VAC   220V±10%

  電機:伺服電機

  行走

  驅動:齒輪齒條+減速機+電機

  速度:2.2m/s

  提升

  驅動:電機減速機+同步帶+帶輪

  速度:1.75m/s

  旋轉

  驅動:電機+同步帶+減速機

  速度:120°/sec

  叉取

  驅動:電機減速機+同步帶+帶輪

  上/下料時間:4.8s

  叉取FOUP精度:±0.5mm

  我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理,為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

  本文介紹了新松/SIASUN  IC STOCKER潔凈機器人 速度:120°/sec產品,如果您對新松/SIASUN機器人感興趣,也請聯系我們的客服,我們期待著您的來電,希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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