亚洲精品中文字幕有码专区-国产99精品视频一区二区三区-亚洲色偷偷网站色偷偷一区-久久国产精品成人片免费

歐姆龍溫度均一技術在SEMI勻膠顯影機上的應用

發布時間:2022-7-14 10:56:06|來源: Omron/歐姆龍

工藝介紹

  涂膠顯影機是芯片制成光刻工藝段非常重要的設備,用于實現光刻膠的超薄膠膜??偣卜譃閮蓚€步驟:一、涂膠工藝:通過膠頭將光刻膠滴到晶圓表面,真空吸盤吸住晶圓高速旋轉進行勻膠。
歐姆龍溫度均一技術在SEMI勻膠顯影機上的應用
  二、均膠完成后進行烘烤堅膜,通過加熱盤使光刻膠中的有機溶劑揮發,生成光刻膠的超薄膠膜。
歐姆龍溫度均一技術在SEMI勻膠顯影機上的應用
  1. 升溫速度不統一以及溫差波動,

  造成晶圓加熱不均

  一旦加熱盤存在加熱不均的現象,可能使得光刻膠中的部分有機溶劑無法得到有效揮發,影響最終生成的膠膜品質。

  2. 人工調盤,過程復雜,耗費工時

  解決方案

  通過溫度均一控制技術,

  實現高精度的均勻加熱

  通過優化算法與MATLAB實現均勻加熱的自動補償算法(我們稱之為溫度均一控制技術),使各分區控溫精度達到了±0.05℃,溫度均一性達到了R=0.275。
歐姆龍溫度均一技術在SEMI勻膠顯影機上的應用
  實驗數據表明,可將溫差控制為原有的1/5

  調整時間僅需2秒,

  完全替代人工調盤

  只需簡單設定,即可實現整個空間或表面分布同一指定量。將原來需要人工調整的工作實現了全自動化,大幅減少人件費的投入,并降低了對熟練工的依賴。

  控制系統

  ● 機械自動化控制器 NJ / NX系列

  ● NX系列 EtherCAT連接器單元

  ● NX系列 溫度輸入單元

  ● NX系列 數字輸出單元
歐姆龍溫度均一技術在SEMI勻膠顯影機上的應用
  實現價值

  ● 控溫精度:±0.05℃

  ● 溫度均一性:R=0.275,其中R=Tmax-Tmin。

  ● 調整時間:2秒

  【經營層】

  ■ 在整個SEMI行業激烈的競爭環境下,此次溫度均一控制技術在涂膠顯影機的應用,打破了國外廠商的技術壟斷,助力企業進一步提升行業地位。

  【管理層】

  ■ 溫度控制精度的提升,完全建立在控制系統與程序的優化,無需更改機械結構和運動時間,導入時間更快且成本更低。

  ■ 通過優化算法,使各分區控溫精度達到了±0.05℃,溫度均一性達到了R=0.275,大幅提升了設備的性能指標與自動化水平。

  【工程師層】

  ■ 將原來需要人工調整的工作實現了全自動化,工程師可以釋放雙手,從事更具創造性、挑戰性的工作。

  ■ 歐姆龍工程師全程參與指導,后期項目調整,只需自行修改參數即可。
來源:歐姆龍

更多相關內容
歐姆龍電子血壓計出現E4故障代碼的解決方法 歐姆龍電子血壓計出現E4故障代碼的解決方法

E4故障代碼通常出現在血壓計的顯示屏上,表示血壓計與袖帶連接不良或袖帶脫落。這種故障可能會導致測量結果不準確,甚至無法完成測量。   解決方法:   1. 檢查袖帶是否正確穿戴,是否松 ...

歐姆龍plc怎么添加SMC模塊 歐姆龍plc怎么添加SMC模塊

增加輸入輸出模塊后要在CX-PROGRAMMER程序里面做設置的。   找到 IO表和單元設置 ,雙擊后找到 主機架【0000】,點 + 號,然后雙擊 00 (如果沒有設置的話),00代表最靠近CPU的模塊號,在彈 ...

歐姆龍plc檢修前準備、檢修規程 歐姆龍plc檢修前準備、檢修規程

(1) 檢修前準備好工具;  ?。?) 為保障元件的功能不出故障及模板不損壞,必須用保護裝置及認真作防靜電準備工作;  ?。?) 檢修前與調度和操作工聯系好,需掛檢修牌處掛好檢修牌。 ...

歐姆龍plc的DA08C輸出模塊ERC燈亮的原因及解決方法 歐姆龍plc的DA08C輸出模塊ERC燈亮的原因及解決方法

DA08C輸出模塊ERC燈亮表示模塊有故障,可能是由于輸出終端的電氣結構不正確或者電源過載引起的。   解決辦法:   1.檢查輸出終端的電氣結構,確保終端線圈正確接觸;   2.檢查模塊內部 ...

歐姆龍繼電器的工作原理與用途 歐姆龍繼電器的工作原理與用途

工作原理   在線圈兩端加上一定的電壓,線圈中就會流過一定的電流,從而產生電磁效應,銜鐵就會在電磁力吸引的作用下克服返回彈簧的拉力吸向鐵芯,從而帶動銜鐵的動觸點與靜觸點(常開觸點) ...

歐姆龍——智能物流環形分揀線的應用 歐姆龍——智能物流環形分揀線的應用

工藝介紹   環形分揀線是整個智能物流系統中的核心設備,是提高分揀效率的關鍵環節。該設備主要由小車、拍照系統、上料區、下料區(也叫格口區)這四部分組成:   課題   如何獲取小車實 ...

歐姆龍全新【可編程控制器CP2E-ECT】正式發布 歐姆龍全新【可編程控制器CP2E-ECT】正式發布

2022年12月,歐姆龍自動化(中國)有限公司新品【可編程控制器CP2E-ECT】正式發布。該產品是基于歐姆龍對中國OEM客戶設備需求的充分調研,由歐姆龍中國本土自主研發、生產,專門為中國客戶量身打 ...

歐姆龍常見故障排除方法有哪些? 歐姆龍常見故障排除方法有哪些?

(一)外圍電路元器件故障   此類故障在PLC維修中比較常見,一般是工作一定時間后的故障中經常發生。在PLC控制回路中如果出現元器件損壞故障,PLC控制系統就會立即自動停止工作。輸入電路是P ...

歐姆龍電子血壓計再添新成員—大畫面系列電子血壓計 歐姆龍電子血壓計再添新成員—大畫面系列電子血壓計

作為全球頂級的電子血壓計生產企業,歐姆龍電子血壓計已售往全球138個國家,至今仍是全球知名電子血壓計品牌。   憑借在血壓管理領域積累了近50年的豐富經驗,歐姆龍始終以服務中國居民健康 ...

歐姆龍plc的主要特點 歐姆龍plc的主要特點

① 結構靈活   不受環境的限制,有電即可組建網絡,同時可以靈活擴展接入端口數量,使資源保持較高的利用率,在移動性方面可與WLAN媲美。  ?、?傳輸質量高、速度快、帶寬穩定   可以很 ...

歐姆龍實現其在當地醫療保健市場中份額上升的目標 歐姆龍實現其在當地醫療保健市場中份額上升的目標

歐姆龍亞太有限公司 菲律賓分公司與藥品銷售和分銷公司Metro Drug Inc.簽署了協議,以擴大其用于OMRON Healthcare Philippines的血壓計,霧化器,溫度計,人體成分監測儀和TENS按摩器的分銷網絡 ...

歐姆龍繼電器的選型規則 歐姆龍繼電器的選型規則

1、線圈電壓:也稱輸入電壓,用于控制接點通斷,有AC24V、DC24V、AC220V等規格   2、接點容量:負載的電壓和電流   3、接點結構:2c(雙刀雙擲)、4c(四刀雙擲)、1a、1b等   4、負載類型 ...

歐姆龍繼電器的維護注意事項 歐姆龍繼電器的維護注意事項

1.在歐姆龍繼電器運行中,如若發現有異常聲響或者其它異?,F象,應立即停止運行,通知專業的檢修人員前來檢修,待故障排除后方可投入正常的運行。   2.在維護過程中,檢查彈簧是否有變形、老 ...

歐姆龍PLC--CPM2A 系列產品型號 歐姆龍PLC--CPM2A 系列產品型號

1. CPM2A-20CDR-D 20點CPU單元 DC24V 12點入8點繼電器輸出 自帶RS232   2. CPM2A-20CDT-D 20點CPU單元 DC24V 12點入8點晶體管輸出 自帶RS232   3. CPM2A-30CDR-D 30點CPU單元 DC24V 18點 ...

歐姆龍 | 保護人、設備和產品的高度安全 歐姆龍 | 保護人、設備和產品的高度安全

課題   在需要保持社交距離的制造現場,減少作業人員來提高生產效率   由于新冠疫情,制造現場也需要保持社交距離,必須迅速實現用更少的作業人員進行生產制造。在此之前,人工作業的自動 ...

歐姆龍變頻器的參數設置 歐姆龍變頻器的參數設置

1、首先,根據電機的額定電壓、額定頻率、額定功率等參數,設置歐姆龍變頻器的參數;   2、其次,根據電機的實際運行情況,調整歐姆龍變頻器的參數,以達到最佳的運行效果;   3、最后, ...

歐姆龍產品在全自動高速縫紉和裁切的應用 歐姆龍產品在全自動高速縫紉和裁切的應用

工藝介紹   衣領袖英縫紉裁切線,主要用于襯衫衣領、袖子、衣兜的縫紉和裁切,設備分以下4個部分:   1、放料部分:用于縫紉物料的初始定位,由電機控制激光投射位置,人工放置物料至平臺 ...

歐姆龍醫用預測式電子體溫計,助力疫情高效防控 歐姆龍醫用預測式電子體溫計,助力疫情高效防控

2022年7月7日,中國上?!B化疫情防控之下,測量體溫是必不可少的手段。對于醫院等人流集聚度高的場所,如何提高測溫效率,從而更有針對性地做好防疫工作,是必須要解決的問題。   獨具 ...

歐姆龍傳感器的使用環境詳細說明 歐姆龍傳感器的使用環境詳細說明

1、環境溫度   傳感器的規范書中都會規則傳感器的正常作業的環境溫度范圍,如40——85度,視產品型號不同有一定差異。主張不要超越規范書中規則的溫度范圍,超越傳感器的正常作業溫度范圍, ...

歐姆龍開關接點可能出現的故障 歐姆龍開關接點可能出現的故障

1、歐姆龍開關內部的元器件接觸不良。   2、歐姆龍開關誤動作。   3、歐姆龍開關熔斷。   4、歐姆龍開關的絕緣性能變弱。 ...

欄目導航
客服中心

在線咨詢:QQ


聯系方式聯系方式

聯 系 人:黃經理

聯系QQ:3271883383

聯系電話:13522565663


掃碼添加微信(手機端請先保存圖片)

工作時間工作時間

工作日:9:00-17:00

節假日:僅處理緊急事件

Contact us

聯系我們

聯系電話 QQ咨詢
QQ咨詢

3271883383

公司地址
返回頂部