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造成傳感器誤差的因素——奧托尼克斯

發布時間:2022-8-9 16:12:19|來源: 奧托尼克斯/Autonics

第一是偏移量差錯:由于高頻壓力傳感器在整個壓力范圍內筆直偏移堅持穩定,因而變換器擴散和激光調節修正的改變將發生偏移量差錯。

                               造成傳感器誤差的因素——奧托尼克斯

  第二是靈敏度差錯:發生差錯大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度差錯將是壓力的遞加函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度差錯將是壓力的遞減函數。該差錯的發生原因在于擴散過程的改變。

  第三是線性差錯:這是一個對高頻壓力傳感器初始差錯影響較小的要素,該差錯的發生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包含放大器的非線性。線性差錯曲線可所以凹形曲線,也可所以凸形曲線稱重傳感器。

  最后是滯后差錯:在大多數景象中,壓力傳感器的滯后差錯完全可以忽略不計,由于硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力改變很大的景象中考慮滯后差錯。

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