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壓阻式壓力傳感器介紹——圖爾克

發布時間:2022-8-22 17:31:07|來源: TURCK/圖爾克

壓阻式壓力傳感器原理是什么?

  壓阻式傳感器是指運用單晶硅資料的壓阻效應和集成電路技術制作而成的傳感器。單晶硅資料在遭受力的作用后,電阻率發生改變,依據丈量電路就可獲得正?比于力改變的電信號輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和能夠轉變為力的改變的其他物理量(如液位、加速度、分量、應變、流量、真空度)的丈量和控制。

  當力作用于硅晶體時,晶體的晶格發生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,形成載流子的遷移率發生改變,擾動了載流子縱向和橫向的均勻量,進而使硅的電阻率發生改變。

  這類改變隨晶體的取向不同而異,所以硅的壓阻效應與晶體的取向有關。硅的壓阻效應不同于金屬應變計,前面一種電阻隨壓力的改變首要在于電阻率的改變,后邊一種電阻的改變則首要在于幾許尺度的改變,并且前面一種的靈敏度比后邊一種大50——100倍。

                               壓阻式壓力傳感器介紹——圖爾克

  壓阻式壓力傳感器應有些?

  壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于丈量直升飛機機翼的氣流壓力散布,測試發動機進氣口的動態畸變、葉柵的脈動壓力和機翼的抖動等。在飛機噴氣發動機中心壓力的丈量中,運用專門設計的硅壓力傳感器,其工作溫度達500℃以上。在波音客機的大氣數據丈量體系中采用了精度高達0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺度縮小的風洞模型試驗中,壓阻式傳感器能密布安裝在風洞進口處和發動機進氣管道模型中。

  壓阻式壓力傳感器組成有哪些?

  這類傳感器運用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制作而成硅壓阻芯片,并將此芯片的周圍固定封裝于外殼之內,找出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需依據彈性敏感元件間接感觸外力,而是直接依據硅膜片感觸被測壓力的。 硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另外一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周圍固支的圓形,直徑與厚度比約為20——60。在圓形硅膜片定域分散4條P雜質電阻條,并接成全橋,在其中兩條坐落壓應力區,另兩條處于拉應力區,相對于膜片中心對稱。

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