新松/SIASUN 真空機械手PHOENIX-S25 負載：＜500g

發布時間：2022-10-13 14:08:01|來源：新松/SIASUN

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品牌:
新松/SIASUN

產地:
沈陽

價格:
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貨期:
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型號:
PHOENIX-S25

產品簡介
新松/SIASUN 真空機械手PHOENIX-S25 負載：＜500g，適用晶圓尺寸：300mm/200mm/150mm/100mm。

質量保證

貼心服務

安全交易

產品介紹說明

簡介：直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。

　　參數

　　本體重量：50KG

　　適用晶圓尺寸：300mm/200mm/150mm/100mm

　　負載：＜500g

　　電源輸入：AC電壓:AC208V AC頻率：50HZ/60HZ

　　電源范圍電壓波動范圍：單相交流208V +10%，-15%

　　節拍：R axis＜3（Home to Extend703mm）θ axis＜2.5s(180°)(根據實際摩擦力) Z axis＜1.8s（90mm）

　　重復定位精度：Z: ±0.05mm（3σ）T: ±0.003°（3σ）R: ±0.05mm（3σ）

　　漏率：< 1 x 10-9 std. cc/sec He

　　真空度：5X10-9Torr

　　適用溫度：法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃

　　行程：R軸703mm Z軸90mm

　　潔凈度：ISO CLASS1

　　MCBF：>11million cycles

　　復合運動：支持

　　PC遠程操作軟件：支持

　　通信接口：Ethernet/串口

　　IO互鎖：支持

　　安全區：支持

　　碰撞保護：支持

　　我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理，為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

　　本文介紹了新松/SIASUN 真空機械手PHOENIX-S25 負載：＜500g產品，如果您對新松/SIASUN機器人感興趣，也請聯系我們的客服，我們期待著您的來電，希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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