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新松/SIASUN 真空機械手Titan1500C 行程:1500mm

發布時間:2022-10-19 16:55:46|來源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    產地:
    沈陽
    價格:
    請聯系客服
    貨期:
    請聯系客服
    型號:
    真空機械手Titan1500C
    產品簡介
    新松/SIASUN 真空機械手Titan1500C 行程:1500mm,電源:208VAC(50Hz/60Hz)。
產品介紹說明
簡介:Titan1500C作為LED芯片制造領域的真空機械手產品,大負載真空機械手主要用于LED芯片制造過程中,實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送,具有真空度高,傳輸效率高,負載能力強,耐高溫等特點,大大提高了LED芯片生產制造的良率和效率,是LED芯片制造裝備的關鍵產品。本產品在集成電路制造用真空機械手的基礎上,針對其大負載需求,創新了其傳輸結構和控制規律,使其能夠達到12kg的負載能力,同時保持很小的占用體積,保持高耐真空度及潔凈等級。
新松/SIASUN  真空機械手Titan1500C  行程:1500mm
  參數

  結構形式:柱坐標型/SCARA型

  驅動方式:伺服電機

  手數量:單臂

  負載

  名稱:托盤

  直徑:Φ716mm

  重量:≤12kg

  自由度數:3

  手臂長度:355mm

  手指長度(安裝中心至硅片中心):810mm

  運動范圍

  R軸R-:≤1500mm

  θ軸θ-:無限回轉

  Z軸Z-:150mm

  全行程最小時間

  R軸R-:<27.8s(Home to Extend 1500mm)

  θ軸θ-:<15s(180°)

  Z軸Z-:13s(150mm)

  重復定位精度

  R軸:±0.2mm

  θ軸:±0.2mm

  Z軸:±0.2mm

  最小回轉半徑:762.5mm

  下垂量:5mm

  真空度:<5×10-9   Torr

  漏率:<1×10-9   std.cc/sec He

  電源:208VAC(50Hz/60Hz)

  電源范圍 電壓波動范圍:單相交流208V +10%,-15%

  通信接口:Ethernet

  重量:195kg

  行程:1500mm

  我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理,為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

  本文介紹了新松/SIASUN  真空機械手Titan1500C  行程:1500mm產品,如果您對新松/SIASUN機器人感興趣,也請聯系我們的客服,我們期待著您的來電,希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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