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新松/SIASUN 真空機械手PINUS-SM11 行程:530mm

發布時間:2022-10-21 15:06:51|來源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    產地:
    沈陽
    價格:
    請聯系客服
    貨期:
    請聯系客服
    型號:
    PINUS-SM11
    產品簡介
    新松/SIASUN 真空機械手PINUS-SM11 行程:530mm,潔凈度:ISO CLASS1。
產品介紹說明
簡介:直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?,耐高溫耐腐蝕特性等。
新松/SIASUN 真空機械手PINUS-SM11 行程:530mm
  參數

  本體重量:23.5KG

  手臂型式:Single   SCARA

  適用晶圓尺寸:200mm/150mm/125mm/100mm

  負載:<500g

  軸數:1

  電源輸入:AC電壓:AC208V   AC頻率:50HZ/60HZ

  電源范圍 電壓波動范圍:單相交流208V +10%,-15%

  節拍:R   axis<<3s(Home to   Extend 502.5mm)

  重復定位精度:R:   ±0.05mm(3σ)

  漏率:<   1 x 10-9 std. cc/sec He

  真空度:5X10-9Torr

  行程:530mm

  潔凈度:ISO   CLASS1

  MCBF:>11million   cycles

  復合運動:支持

  PC遠程操作軟件:支持

  通信接口:Ethernet/串口

  IO互鎖:支持

  安全區:支持

  碰撞保護:支持

  認證:SEMI   S2 /SEMI F47/CE

  我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理,為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

  本文介紹了新松/SIASUN 真空機械手PINUS-SM11 行程:530mm產品,如果您對新松/SIASUN機器人感興趣,也請聯系我們的客服,我們期待著您的來電,希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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