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新松/SIASUN真空機械手PHOENIX-B系列 負載:1KG

發布時間:2022-11-14 17:38:07|來源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    產地:
    沈陽
    價格:
    請聯系客服
    貨期:
    請聯系客服
    型號:
    PHOENIX-B系列
    產品簡介
    新松/SIASUN真空機械手PHOENIX-B系列 負載:1KG,電源輸入:AC電壓:AC208V AC頻率:50HZ/60HZ
產品介紹說明
簡介:直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。
新松/SIASUN真空機械手PHOENIX-B系列 負載:1KG
  參數

  本體重量:50KG

  適用晶圓尺寸:300mm/200mm/150mm/100mm

  負載:1KG

  電源輸入:AC電壓:AC208V   AC頻率:50HZ/60HZ

  節拍:8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料,傳輸位置不同相關)

  動態偏差糾正精度:±0.1mm

  重復定位精度:Z: ±0.05mm(3σ),T: ±0.003°(3σ),R: ±0.05mm(3σ)

  漏率:< 1 x 10-9 std. cc/sec He

  真空度:5X10-9Torr

  適用溫度:法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃

  潔凈度:ISO CLASS1

  MCBF:>11million cycles

  復合運動:支持Support

  PC遠程操作軟件:支持Support

  通信接口:Ethernet/串口serial interface

  IO互鎖:支持Support

  安全區:支持Support

  碰撞保護:支持Support

  認證:SEMI S2 /SEMI   F47/CE

  我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理,為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

  本文介紹了新松/SIASUN真空機械手PHOENIX-B系列 負載:1KG產品,如果您對新松/SIASUN機器人感興趣,也請聯系我們的客服,我們期待著您的來電,希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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