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新松/SIASUN 潔凈機器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg

發布時間:2022-11-16 16:23:34|來源: 新松/SIASUN

  • 品牌:
    新松/SIASUN
    產地:
    沈陽
    價格:
    請聯系客服
    貨期:
    請聯系客服
    型號:
    SRBZ820C-SMSX
    產品簡介
    新松/SIASUN 潔凈機器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg,耐真空度(Pa):<5×10-9 Torr
產品介紹說明
簡介:采用先進的磁流體密封技術,具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃,提高運動節拍,提高了用戶產能。安全區保護等功能有效地提高了產品的安全等級。在半導體前道高端設備中廣泛應用,對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務,快速響應的售后服務,以及敦實的技術實力,是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業鏈的進步,有效的支撐了國內設備商的發展。
新松/SIASUN 潔凈機器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg
  參數

  型號:SRBZ820C-SMSX

  密封方式:磁流體密封

  自由度數:2

  負載

  名稱:托盤

  直徑:Φ330mm

  重量:1.5kg

  最大運動范圍

  R軸(mm):立柱中心至R軸最大伸展處被搬運物體中心距離820

  θ軸(°):360

  全行程最小時間

  R軸(s):2.5

  θ軸(s):4.8

  重復定位精度

  θ軸(°):±0.01(3σ)

  R軸(mm):±0.1(3σ)

  重量

  機械手本體:41kg

  控制器:15kg

  耐真空度(Pa):<5×10-9 Torr

  漏率:<1×10-9 std.cc/sec He

  碰撞保護:盤片和機械手無損傷

  行程:820mm

  電源范圍 電壓波動范圍:單相交流208V +10%,-15%

  我們將以誠實守信、方便快捷的經營方式和嚴格的管理,為客戶提供優質的產品和滿意的服務。

  本文介紹了新松/SIASUN 潔凈機器人SRBZ820C-SMSX 控制器:15kg產品,如果您對新松/SIASUN機器人感興趣,也請聯系我們的客服,我們期待著您的來電,希望我們的技術和服務能給您帶來更好的體驗。

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