傳感器在質量流量控制器中作用——易福門

質量流量操控器是一種新型的流量丈量和監測儀器，也是一種無需溫度和壓力補償即可方便地監測管道中不同氣體流動的儀器。其作業原理是將傳感器加熱橋測得的流量信號送至擴大器進行擴大，將擴大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，將差分信號擴大以操控調理閥，并對通過通道的流量進行閉環操控。流量等于設定流量。與質量流量操控器配套的流量顯現儀表配備有穩壓電源、數字電壓表、設定電位計、表里開關和三位閥控開關。它可用于操控不同的清潔和枯燥氣體，包含腐蝕性氣體和復雜氣體，但對于運用腐蝕性氣體或復雜氣體，需求正確挑選類型和密封資料。

傳感器在質量流量控制器中作用——易福門

　　質量流量計(Mass Flow Meter，縮寫為MFM)和質量流量操控器(Mass Flow Controller，縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精確地丈量或操控。它在包含許多尖端科學和嚴重運用技能在內的許多范疇以及基礎工業范疇起著非常重要的效果。例如半導體工業的外延、分散、氣相淀積、離子刻蝕等工藝。光纖工業中的光纖預制棒熔煉，石油化工的試驗研討和運用，資料科學與技能的多方面研討和運用，如納米資料的研討、薄膜資料外表技能等;環境保護的定量取樣，光譜、色譜分析的載氣操控;醫藥及生物工程;微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管丈量等。

　　質量流量計用于丈量氣體的質量流量，其丈量值不需求進行溫度和壓力批改。傳統的氣體丈量通常采用浮子流量計作為檢測單元、用針形調理閥作為履行單元。這種流量操控方法有其難以克服的缺點。浮子流量計不只丈量精度較低，并且當丈量介質的溫度、壓力發生動搖時，丈量誤差較大，且作為履行單元的針閥，由于需求手動操作，不能精確地調理流量，與檢測單元構成有用的閉環操控。而質量流量計基本不受影響。對于一般的體積流量計，當壓強相對于標準壓強改變0.1MPa時，在相同的流量指示下，其實際的質量流量要改變一倍左右，而質量流量計僅改變0.1%F.S.左右。別的，溫度要素對體積流量計的影響也要大于對質量流量計的影響。

　　質量流量操控器由流量傳感器、分流器通道、流量調理閥和擴大操控電路等部件組成。其中，流量傳感器是質量流量計和質量流量操控器中的要害部件。

　　傳感器的技能功能包含∶對稱性、線性、重復性、靈敏度、溫度漂移等。資料和結構決定了傳感器的功能，而工藝水平愈加重要。例如，填料的運用，密封性等。同時，流量傳感器與分流器以及它與擴大電路的匹配，都會對流量傳感器的運用產生重要影響。

　　傳感器加熱電橋測得的流量信號被送入擴大器擴大，擴大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號擴大后去操控調理閥門，閉環操控流過通道的流量使之與設定的流量持平。分流器決定主通道的流量。與之配套的流量顯現儀上設置有穩壓電源、數字電壓表、設定電位器、表里設轉換開關和三位閥控開關等。

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傳感器在質量流量控制器中作用——易福門

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