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基恩士×半導體行業 經典案例分享

發布時間:2023-3-8 11:03:03|來源: 基恩士/KEYENCE

在高速發展的半導體行業中,基恩士參與到晶圓生產的各段工藝,性能優異深受信賴。本期內容與您分享,基恩士傳感器在半導體行業中的經典基礎檢測應用,

OHT搬運FOUP時 安全防護檢測

方案: GL-S系列優勢: 纖薄機身且自帶安裝支架,輕巧省空間。光軸對準簡單,配備大型指示燈,安全狀態實現一目了然!

載物臺 晶圓有無檢測

方案: FS-N41N+FU-96T優勢: 高功率放大器可有效防止水滴引起的誤檢,配合氟樹脂光纖外殼,有效防腐蝕。

晶圓涂布/顯影光阻劑滴量管理

方案: FD-X系列

優勢: 外夾式安裝不必切管,沒有污染問題,便捷且安全。同時可顯示0.001m1的累積流量,便于管控劑量

擴散爐中晶圓突出檢測

方案: GV-21+GV-H450優勢: 支持通過透明視窗檢測,反射型易于安裝。單側開窗即可。

AWC 晶圓定位檢測
基恩士×半導體行業 經典案例分享
方案: FS-N41N+FU-79 /LV-NH62優勢: 高靈敏度放大器,響應速度快,配合0.5mm小芯徑光纖,穩定進行晶圓定位檢測。如用激光型,LV系列 中1.5mm小光斑可達到1M檢測距離。同軸結構激光傳感器,可解決安裝位置狹小的困擾。

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